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            电子超纯水
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            高级别电子超纯水整体解决方案

            公司紧跟ITRS发展蓝图,致力于研究更成熟先进的工艺方案,服务于海力士、长江存储、上?;?、无锡华虹、上?;?、嘉兴中晶、京东方、华星光电、中电熊猫、惠科光电等优质客户,提供更可靠的集成电路/高世代面板超纯水整体设计(包括制程水回用)方案,以及采购、安装、调试、运维的一体化服务。


            l UPW-HiDB超纯水深度除硼工艺方案

            SA+DP+PMB工艺包,离子交换效率高,出水硼可稳定<0.01ppb。

            l UPW-HiDC超纯水深度除TOC工艺方案

            Dual UVox+PMB工艺包,方案成熟可靠,出水TOC可稳定<0.5ppb。


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